離子減薄儀的原理和操作說明

點擊次數：2422 更新時間：2022-08-09

離子減薄儀為一種在材料科學領域普遍應用的儀器。離子減薄儀有著較快的制樣速度。可以以較小的耗費將高質量的TEM樣品制備出來。該儀器可以快捷方便地進行操作，低能量離子槍功能為其所配備，對能量敏感性樣品的減薄特別適合。液氮冷臺為其所配備，對溫度敏感性樣品的減薄特別適合。陶瓷、半導體、金屬和合金等多種材料的透射電子顯微鏡（ TEM）樣品的制備為該儀器的主要用途。

氬氣的電離采用高壓來進行，在電場是作用下，電離后的氬離子對樣品表面進行轟擊。在氬離子的持續轟擊下，樣品慢慢減薄，一直到使透射電鏡觀察要求滿足，此即為離子減薄儀的工作原理。

減簿及觀察：

1、對所需的減薄時間進行設定。

2、對工作電壓進行設定（通常設定成4或者5Kev）

3、對離子槍工作模式進行設定（通常設定成雙離子束調變）

4、對左右離子槍工作角度進行調整（通常為±4度）

5、將氬氣工作模式調整為自動氣體

6、對載臺轉速進行設定（通常是3RPM）

7、對啟動進行點擊開始工作。

8、在工作期間能夠對Viewing 選項進行點擊，通過CCD來對樣品減薄情況進行觀察。

9、樣品穿孔后能夠對低電壓進行更換繼續減薄，一直到薄區良好。

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